Установка вакуумная напылительная УВН-4МС-5
Предназначена для нанесения декоративного покрытия магнетронным распылением металлов на поверхность изделий различного назначения.
Установка изготавливается в климатическом исполнении УХЛ, категории 4 по ГОСТ 15150.
Технические характеристики
| Наименование параметра |
УВН-4МС-5 |
| Производительность установки, м2/цикл, не менее |
5,6 |
| Давление в вакуумной камере до ионной откачки, Па (мм рт.ст.), не более |
6,65х10-3 (5х10-5) |
| Давление в вакуумной камере при напылении, Па (мм рт.ст.) |
6,65х10-2 - 6,65х10-1 (5х10-4 - 5х10-3) |
| Максимальная температура нагревателей, С |
600 |
| Распыляемый материал |
металлы (Al, Ti, Cu) |
| Потребляемая мощность, кВт, не более |
61 |
| Расход охлаждающей воды, л/ч, не более |
8900 |
| Габаритные размеры приемного устройства |
2100х1440х1000 |
| Напряжение питания при частоте 50 Гц |
380/220+10%/5% |
| Масса установки, кг |
6000 |
Габаритный чертеж установки УВН-4МС-5
|
|
