Установка вакуумная напылительная УВН-4МЭУ
Вакуумная камера имеет следующие габаритные размеры:
диаметр 1600 мм, длина 2500 мм.
В камере (стандартная конфигурация) расположены:
две магнетронные распылительные системы (30 кВт, импульсные/на постоянном токе),
два протяжённых электродуговых испарителя с охлаждаемым анодом,
система очистки/травления в плазме импульсного тлеющего разряда,
ионный источник,
система нагрева изделий,
система плазменной полимеризации.
Установка оснащена системой планетарного вращения изделий с приёмным устройством.
В соответствии с европейскими требованиями используется система кабельных каналов, размещённых над установкой.
Внутрикамерное оборудование может меняться в зависимости от требований заказчика.
Вакуумная система УВН-4МУ состоит из четырёх диффузионных агрегатов АВДМ-500, механических насосов ДВН-150 (насосы Рутса), золотникового насоса АВЗ-180 и двух насосов 2НВЗ-90Д, предназначенных для поддержания требуемого давления в АВДМ-500, вакуумной запорной арматуры с пневмоприводами.
В управлении вакуумной системой и технологическим процессом используется пакет LabView. В рамках этого пакета реализованы Switch-технология (для задач логического управления) и система измерений (виртуальные вакуумметры, терморегуляторы, система измерения толщины покрытий, система контроля за состоянием плазиы, напуска реактивных газов и т. д.).
|
|
