Установка вакуумная напылительная УВН-4М
Предназначены для нанесения магнетронным распылением металлов на поверхность изделий различной геометрической формы, открытой для прямого попадания на нее испаряемых паров металла.
Установки могут быть использованы в производстве товаров народного потребления с улучшенной цветовой и декоративной отделкой поверхности, а также изделий с повышенной коррозионно- и износостойкостью.
Принцип работы установок основан на распылении материала мишени, которое осуществляется ионами рабочего газа, образующимися в плазме аномального тлеющего разряда, в скрещенных электрических и магнитных полях.
Питание установок от сети переменного трёхфазного тока
напряжением 380/220 В, частотой 50 Гц.
Технические характеристики
| Наименование параметра |
УВН-4М |
УВН-4МП |
УВН-8МП |
| Производительность установки, м2/цикл, не менее |
5,6 (12) |
8 |
15,6 |
| Максимальные размеры напыляемого изделия. мм |
1500/2100 |
1300/1600 |
1300/3000 |
| Давление в вакуумной камере до ионной очистки, Па (мм рт.ст.), не более |
6,65х10-3 (5х10-5) |
6,65х10-3 (5х10-5) |
6,65х10-3 (5х10-5) |
| Давление в вакуумной камере при напылении, Па (мм рт.ст.) |
6,65х10-2 -
6,65х10-1
(5х10-4 -
5х10-3) |
6,65х10-2 - 6,65х10-1 (5х10-4 - 5х10-3) |
6,65х10-2 - 6,65х10-1 (5х10-4 - 5х10-3) |
| Максимальная температура нагревателя, °С |
600 |
600 |
600 |
| Напряжение смещения, В |
250 |
250 |
250 |
Распыляемый материал
|
титан, медь
и другие
немагнитные
материалы |
титан, медь и другие
немагнитные материалы |
титан, медь и другие немагнитные материалы |
| Потребляемая мощность, кВт, не более |
48 |
73,5 |
94 |
Габаритные размеры приёмного устройства:
длина
ширина
высота |
2100
1500
12 |
2100
1500
12 |
-
1400
1000 |
Максимальные размеры кассет, размещенных на барабане, мм
диаметр
длина
количество, шт. |
210
1500
12 |
210
1500
12 |
-
3100
2 |
| Напряжение питания при частоте 50 Гц |
380/220+10%/-5% |
380/220+10%/-5% |
380/220+10%/-5% |
| Габаритные размеры,мм |
3350х4400х2080 |
4900х3600х2080 |
5560х5300х2080 |
| Масса установки, кг |
6000 |
6000 |
13000 | |
Габаритный чертеж установки УВН-4М
|
